波浪状电容器及其制造方法

摘要

一种波浪状电容器及其制造方法，能够形成具有波浪状轮廓的复层结构的电容器。该方法包括：图案化该底导体层以至少形成两个相邻沟渠；形成一复层结构，该复层结构共形于该些沟渠且从相邻结构隔离，该复层结构至少包括一第一电极板层、设置于该第一电极板上的一绝缘层、以及设置于该绝缘层上的一第二电极板层，其中该第一电极板层的至少一部份与该底导体层电性连接；于该芯片上形成多个内连线，该些内连线的至少其中之一连接该第二电极板层。

主权项

1.一种波浪状电容器的制造方法，该波浪状电容器设置于一底导体层上，该底导体层设置于一芯片的一底绝缘层上，其特征是，该方法包括下列步骤：图案化该底导体层以至少形成两个相邻沟渠；形成一复层结构，该复层结构共形于该些沟渠且从相邻结构隔离，该复层结构至少包括一第一电极板层、设置于该第一电极板上的一绝缘层、以及设置于该绝缘层上的一第二电极板层，其中该第一电极板层的至少一部份与该底导体层电性连接；以及于该芯片上形成多个内连线，该些内连线的至少其中之一连接该第二电极板层。