PVD EDGE UNIFORMITY IMPROVEMENT IN PVD ARRAY COATERS

摘要

기판 상에서의 재료의 증착을 위한 장치가 설명된다. 장치는, 셋 또는 그 초과의 캐소드들(122)을 갖는 증착 어레이(222)를 포함하고, 증착 어레이는, 셋 또는 그 초과의 캐소드들 중 적어도 제 1 캐소드를 포함하는 제 1 외측 증착 조립체(301); 셋 또는 그 초과의 캐소드들 중 적어도 제 2 캐소드를 포함하는, 제 1 외측 증착 조립체에 대향하는 제 2 외측 증착 조립체(302), 및 제 1 외측 증착 조립체와 제 2 외측 증착 조립체 사이에 로케이팅된, 적어도 하나의 내측 캐소드를 포함하는 내측 증착 조립체(303)를 포함한다. 제 1 외측 증착 조립체(301) 및 제 2 외측 증착 조립체(302) 중 적어도 하나는, 동일한 시간에 동일한 기판 상에, 내측 증착 조립체(303)보다 더 높은 레이트로 재료를 증착시키도록 구성된다.