| 发明名称 |
PLASMA EROSION RESISTANT THIN FILM COATING FOR HIGH TEMPERATURE APPLICATION |
| 摘要 |
서셉터와 같은 물건(article)은, 제 1 보호 층에 의해 코팅된 열 전도성 재료의 바디, 및 바디의 표면 위의 제 2 보호 층을 포함한다. 제 1 보호 층은 열 전도성 세라믹이다. 제 2 보호 층은 제 1 보호 층을 덮으며, 그리고 섭씨 650도의 온도들에서 크래킹(cracking)에 대해 저항적인 플라즈마 저항성(plasma resistant) 세라믹 박막이다. |
| 申请公布号 |
KR20160145816(A) |
申请公布日期 |
2016.12.20 |
| 申请号 |
KR20167033014 |
申请日期 |
2015.04.23 |
| 申请人 |
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
发明人 |
피로우즈도르, 바히드;카눙고, 비라자 피.;썬, 제니퍼 와이.;샐리나스, 마틴 제이.;리, 자레드 아흐메드 |
| 分类号 |
C23C16/458;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/22;C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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