喷墨式打印头喷孔的自动对准制法

摘要

一种喷墨式打印头喷孔的自动对准制法，包括下列步骤：提供一基板，所述基板包含有至少一致动组件；在所述基板表面上依序形成一第一薄膜及一第二薄膜，并定义此第二薄膜，以在上述致动组件的上方形成一凸部，且露出上述第一薄膜的部分表面；在上述露出的第一薄膜的部分表面上形成一第三薄膜，此第三薄膜并同时覆盖于该凸部的上方；去除该凸部上方的第三薄膜；最后进行蚀刻制程，将上述凸部及其下方的第一薄膜去除，以形成一孔洞。

主权项

1.一种喷墨式打印头喷孔的自动对准制法，包括下列步骤：提供一基板，其包含有至少一致动组件；于所述基板表面上形成一第一薄膜；于所述第一薄膜上形成一第二薄膜；定义所述第二薄膜，以于所述致动组件的上方形成一凸部，并露出所述第一薄膜的部分表面；于上述露出的第一薄膜的部分表面上形成一第三薄膜，所述第三薄膜并同时覆盖在所述凸部的上方；去除所述凸部上方的第三薄膜；以及进行蚀刻制程，将所述凸部及所述凸部下方的所述第一薄膜去除，以形成一孔洞。