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发明名称
半导体设备机台与资料收集项目之对应方法及系统及其电脑读取媒介
摘要
一种半导体设备机台与资料收集项目之对应方法,首先,提供一资料收集项目库与一品质管制图库。接着,依据相应一半导体设备机台之机台代码由品质管制图库检索相应一品质管制图之管制图代码。之后,依据管制图代码由资料收集项目库检索相应之资料收集项目。最后,将半导体设备机台与资料收集项目进行对应。
申请公布号
TW200412516
申请公布日期
2004.07.16
申请号
TW092100035
申请日期
2003.01.02
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
彭碧玲;亢慧玲
分类号
G06F17/40
主分类号
G06F17/40
代理机构
代理人
洪澄文;颜锦顺
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区园区三路一二一号
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