发明名称 DEVICE AND METHOD FOR VACUUM DEPOSITION, AND ORGANIC ELECTROLUMINESCENT ELEMENT PROVIDED BY THE DEVICE AND THE METHOD
摘要
申请公布号 KR20040066104(A) 申请公布日期 2004.07.23
申请号 KR20047005798 申请日期 2002.10.28
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;C23C14/04;C23C14/22 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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