基材以及形成用于流体注入装置之基材的方法

摘要

一种用于形成一通过一具有一第一侧及一与第一侧相对的第二侧之基材的开口之方法系包括在基材的第一侧中形成一沟道，在沟道内形成一遮罩层，在遮罩层中形成至少一孔，充填沟道及至少一孔，从基材第二侧至遮罩层在基材中形成开口的一第一部，以及从基材的第二侧经过遮罩层中的至少一孔往基材的第一侧在基材中形成开口的一第二部。