发明名称 | 电浆处理系统及方法 | ||
摘要 | 一种电浆处理系统,包含:一磁场产生器,用以形成一磁场;及一片状光学元件,用以形成能够照亮处理室之中的粒子之光屏。一成像装置,用以取得被光屏照亮时之粒子所对应的影像资料。磁场产生器、片状光学元件与成像装置三者系位在彼此相对的位置上,藉以运用电浆。一影像处理器,用以处理影像资料,俾能获得光屏中的粒子浓度。一种电浆处理系统之中的粒子浓度的测量方法,包含以下步骤:一定位步骤,使磁场产生器、片状光学元件与成像装置位在彼此相对的位置上,藉以运用电浆;及一获得浓度步骤,获得光屏之中的粒子浓度。本发明亦提供一种电浆处理系统之电浆处理室中的粒子浓度之最小化方法。 | ||
申请公布号 | TW200414833 | 申请公布日期 | 2004.08.01 |
申请号 | TW092132445 | 申请日期 | 2003.11.19 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 安卓S 密卓维克 |
分类号 | H05H1/00 | 主分类号 | H05H1/00 |
代理机构 | 代理人 | 周良谋;周良吉 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |