| 主权项 |
1.一种薄板状电子元件清洁搬运装置,系为将于一框体内开口之一匣盒内所收纳之一薄板状电子元件在该框体内,从该框体之天井所设置之一风扇过滤器单元向该框体内吹出一乾净空气下,藉由该框体内之一搬运机器人于设定的位置之间自动搬运之装置,其特征在于:该风扇过滤单元具备有使0.1微米以上之粒子除去99.999%以上之一过滤器;以及该框体在该搬送机器人中央部位中之该搬送机器人的手臂下侧水平的设置能够使空气流通之一第1床,该风扇过滤单元与该第1床之间隔成一第1室,在对外部能够使空气流通之该筐体底部与该第1床之间隔成一第2室。2.如申请专利范围第1项所述之薄板状电子元件清洁搬运装置,其特征在于:该第1室之壁上具备有上下移动之一门;该门在该第2室侧的一门通路上覆盖有一隔壁;从该第1室流入该第2室之该乾净空气,经过该门通路而直接排出至该框体底部。3.如申请专利范围第1项所述之薄板状电子元件清洁搬运装置,其特征在于:在该第1室之壁上所设置之一门框部与该门框部所邻接设置的该门之间及/或该门框部与该匣盒之间,该第1床与该搬送机器人之间设置有宽1厘米以上、30厘米以下之间隙。4.如申请专利范围第1项所述之薄板状电子元件清洁搬运装置,其特征在于该搬送机器人具备有:在该手臂之关节部所设置之防止扬尘的一密封构件;以及伴随着支撑该手臂的一主体之下降动作,将该主体内之空气向下排出之一通气口。5.如申请专利范围第1项所述之薄板状电子元件清洁搬运装置,其特征在于该框体具备有能够空气流通一第2床,该第2床设置于该搬送机器人的基台附近,并改变该框体底部对外部之开口率。6.如申请专利范围第1项所述之薄板状电子元件清洁搬运装置,其特征在于该第1床之开口率为5%以上、50%以下,且该框体底部之开口率为5%以上、70%以下。7.如申请专利范围第1项所述之薄板状电子元件清洁搬运装置,其特征在于该第1室之内压较该第2室之内压高;以及该第2室的内压为0.1Pa以上。8.如申请专利范围第1项所述之薄板状电子元件清洁搬运装置,其特征在于该第1室之换气次数为一分钟5次以上、45次以下。9.如申请专利范围第1项所述之薄板状电子元件清洁搬运装置,其特征在于从该风扇过滤单元至该第1室之该乾净空气的吹出速度为0.1公尺/秒以上、0.65公尺/秒以下。10.如申请专利范围第1项至第9项其中任一项所述之薄板状电子元件清洁搬运装置,其特征在于:该框体一方之壁上具有至少使该第1室与该第2室之其中之一开口之一开口部;对于该框体一方之壁该开口部之开口率为20%以下;该第1室的内压为0.1Pa以上;以及该第1室之换气次数为5次/分钟以上、45次/分钟以下。11.一种薄板状电子产品制造系统,其特征在于具备有申请专利范围第1项至第9项其中任一项所述之薄板状电子元件清洁搬运装置。图式简单说明:第1图是本发明之一实施例的具备有薄板状电子元件清洁搬运装置之薄板状电子产品制造设备的部分省略斜视图。第2图是本发明之另一实施例的薄板状电子元件清洁搬运装置的部分省略斜视图。第3图是第2图所示之清洁搬运装置中载置有匣盒之载入埠斜视图。 |
