模式预测用之动态适应性取样方法

摘要

本发明提供一种动态调整关于晶圆检测之取样率的方法与装置。一制程步骤系进行于大量相关的复数个工作件上。决定与至少一制程工作件有关取得测量资料的取样率。进行动态取样率调整制程，以适应性地修改该取样率。该动态取样率调整制程包括比较预测的制程结果与实际的制程结果，并且依据该比较情形修改该取样率。