防止微影制程对准失误的结构与方法

摘要

一种防止微影制程对准失误的结构与方法，其系应用在金属内连线之微影制程中，此方法系首先在一基底上方之一结构层上形成一铝层。接着，在铝层之表面上形成一抗反射层，其中此抗反射层系由至少二钛层以及至少二氮化钛层交错堆叠而成。由于抗反射层系由至少二钛层以及至少二氮化钛层交错堆叠而成，因此可以分散氮化钛之应力，而使整个抗反射层较为均匀，以避免后续微影制程产生对准失误。