一种场发射元件之制备方法

摘要

本发明涉及一种场发射元件之制备方法，包括下列步骤：提供一工作板，该基底具有一平整表面；于所述工作板表面形成一催化剂层；通入碳源气体，加热至反应温度，于催化剂作用下，生成奈米碳管阵列；于奈米碳管阵列顶端形成阴极电极；去除工作板，露出奈米碳管阵列生长面。本发明方法形成之奈米碳管阵列发射端于同一平面，从而可实现电子均匀发射。