| 发明名称 |
DESIGN AND PROCESS FOR FABRICATING SINGLE CRYSTAL SILICON MICRO-MIRROR SWITCH USING SECONDARY ACTUATORS AND ANGULAR AMPLIFICATION CONCEPT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG106674(A1) |
申请公布日期 |
2004.10.29 |
| 申请号 |
SG20030001336 |
申请日期 |
2003.03.18 |
| 申请人 |
INSTITUTE OF MICROELECTRONICS |
发明人 |
JANAK SINGH;UPPILI SRIDHAR;RANGANATHAN NAGARAJAN;QUANBO ZOU |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L31/0232;(IPC1-7):H01L31/023 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
