阵列式微机电电容式麦克风

摘要

本发明在提供一种阵列式微机电电容式麦克风，包含一可电性连接于一基板上之基座，及一容装于基座中之电容式麦克风装置，且该电容式麦克风装置是以微机电系统技术形成，具有一基材、多数以阵列形式形成于该基材上之电容式麦克风单元，及一与该电容式麦克风装置电性连接之模拟演算装置，该每一电容式麦克风单元接收一声源后可对应使其电容改变，而转换成电子讯号，该模拟演算装置以该等电容式麦克风单元之电子讯号进行一运算模拟，使该阵列式微机电电容式麦克风具有高指向性及高讯噪比。