发明名称 溅射离子泵,其制造方法,及具备溅射离子泵的画像显示装置
摘要 溅射离子泵是具备泵容器51;在该泵容器内设有:互相面对面所配置的阴极52与阳极53,及位于阴极与泵容器内面之间的永久磁铁57。在泵容器内配置阳极、阴极及磁性材之后,从泵容器外侧磁化于磁性材作为永久磁铁。
申请公布号 TW200426875 申请公布日期 2004.12.01
申请号 TW093114322 申请日期 2004.05.20
申请人 东芝股份有限公司 发明人 清野和之;田佳之
分类号 H01J1/00 主分类号 H01J1/00
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本
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