导螺杆驱动之晶圆座

摘要

一种导螺杆驱动之晶圆座，包括有一个以上的线性载台，每一个线性载台又包括有一载台座、一传动装置与一螺杆保养装置；其中之传动装置又包括一导螺杆、一螺合于导螺杆上之螺杆套与二螺杆座用以支撑导螺杆；其中之螺杆保养装置又包括一直流马达、一马达承座与一连接套筒，马达承座用以承载并固定直流马达，并利用连接套筒连接直流马达与导螺杆，藉此，可以调整导螺杆与螺杆套之相对位置，以便对导螺杆进行保养。