发明名称 高分子化合物及其制造方法
摘要 提供由酚衍生物之树枝状聚合物或超枝链聚合物而成的重量平均分子量500~10,000,000之高分子化合物。本发明之树枝状聚合物,超枝链聚合物之新颖化合物,系与一般的线状高分子在基本上不同,例如采用此种新颖高分子化合物作为光阻材料之基底树脂时,聚合物之尺度系与解析度成比例,若降低尺度时,则在线状高分子化合物有强度不足的缺点,惟此新颖高分子化合物有可能任意改变聚合物之尺度,此新颖高分子化合物系可保持强度且具有可降低尺度之特征。因此可给予用的光阻材料所未有的高解析性,灵敏度,耐电浆蚀刻性优越的光阻材料。
申请公布号 TWI226339 申请公布日期 2005.01.11
申请号 TW089105518 申请日期 2000.03.24
申请人 信越化学工业股份有限公司 发明人 渡边修;武田隆信;山润;小林知洋;石原俊信;渡边淳
分类号 C08G14/00 主分类号 C08G14/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种重量平均分子量500~10,000,000之高分子化合物,系由下述重复单位(Ⅰ)及/或重复单位(Ⅱ)与重复单位(Ⅲ)所构成,且单位(Ⅲ)之个数为1~1,000之树枝状聚合物或超枝链聚合物所构成者;单位(Ⅰ):单位(Ⅱ):(式内,R1表示氢原子或甲基,R2表示相同或不同的碳数1~30之直链状、枝链状或环状之烷基,或碳数6~30之芳香基;R3表示羟基或OR4基,R4表示酸不安定基或酸安定基;x为0或正之整数,y为正整数,满足x+y≦5之数)单位(Ⅲ):(式内,R1系与上述相同;R5为碳数1~30之直链状、枝链状或环状之伸烷基,或碳数6~30之伸芳基,此等可予组合,其可含有醚键结或酯键结,x表示单键结,或可含有羟基或羰基的碳数1~10之直链状或枝链状之伸烷基)。2.如申请专利范围第1项之高分子化合物,其中树枝状聚合物或超枝链聚合物系具有以下式(4)~(8)(式内,链线表示上述重复单位(Ⅰ)及/或(Ⅱ)之聚合物链,A表示上述单位(Ⅲ))。3.一种申请专利范围第1项之高分子化合物之制造方法,系于聚合羟基苯乙烯单体之际,在聚合中途添加枝链形成单体并重复将枝链导入聚合中途物并予聚合。4.如申请专利范围第3项之制造方法,其中羟基苯乙烯衍生物单体为以下述一般式(i)及/或(ii)表示者,枝链形成单体为以下述一般式(iii)表示者(式内,R1,R2,R3,x,y系与上述相同,R表示羟基之保护基,R0表示单键结或碳数1~20之伸碳数,x表示卤原子,醛基或烷氧基羰基)。5.如申请专利范围第3项或第4项之制造方法,系利用活性聚合进行聚合。6.如申请专利范围第5项之制造方法,其中活性聚合为活性阴离子聚合。
地址 日本