| 摘要 |
本发明系提供含有硷可溶性树脂(A)、重氮化合物(B)、不含酚性羟基之含–CH2OH基之化合物(C)所构成之正型感光性树脂组成物、使用该组成物之图案状树脂膜之制造方法、使用该组成物之半导体装置、及其半导体装置之制造方法。又，本发明系提供含有硷可溶性树脂(A)、重氮化合物(B)、二种以上之混合溶剂(D)所构成的正型感光性组成物，混合溶剂(D)为含有γ–丁内酯及丙二醇单烷醚、γ–丁内酯及丙二醇单烷醚之合计量为溶剂总量之70重量％以上之正型感光性树脂组成物、使用该组成物之图案状树脂膜之制造方法、使用该组成物之半导体装置及显示元件，暨其半导体装置及显示元件之制造方法。093118065-p01.bmp |
