| 摘要 |
含硷清洁组合物以及使用该清洁组合物以清洁微电子基板之方法，特别是FPD微电子基板，其组合物基本上可完全地清洁该种基板并且基本上不会产生该基板金属元件的腐蚀作用。本发明之含硷清洁组合物具有(a)亲核胺，(b)中性到弱酸，其具有以"pKa"表示在水溶液中之解离常数从约1.2到约8的强度，(c)选自于脂族醇、二醇、多元醇或是脂醇醚之化合物，及(d)有机共溶剂，其较佳地具有从约8到约15之溶解度参数。本发明之清洁组合物将具有一量之弱酸使得酸基对胺基之当量莫耳比值是大于.75并且可以高达到大于1的比值之范围，例如1.02或是更多的范围。本发明之含硷清洁组合物的pH将是在从约pH4.5到9.5。 |
