形成溅镀靶材总成之方法及由该方法所制成之溅镀靶材总成

摘要

本发明描述一种形成溅镀靶总成之方法，该方法包括爆炸性地接合靶级板及背面板元件，以形成具有一定尺寸的经接合之预成形体，以使能够获得一个大靶或数个靶总成。该方法视需要而包括将经接合的预成形体分割成复数个溅镀靶总成。可在接合之前视需要在靶级板和背面板元件间置放间层。可由此方法制造接合品质的试件。本发明进一步描述溅镀靶总成、接合后的预成形体及接合品质的试件。