真空泵

摘要

本发明旨在提供一种真空泵，具备一对螺旋转子，由具有多条螺旋状之隆起部之第一螺旋转子和具有多条螺旋状之槽部之第二螺旋转子构成，在相啮合下实质上绕平行之二轴转动；外壳，收藏该一对螺旋转子；以及一对轴承，设置于支撑该一对螺旋转子之一对轴4；其特征为在该一对螺旋转子和该一对轴承之间设置对于该一对轴4系非接触之一对轴封5，一对轴封5各自系静压轴封，而且自轴封部分引入密封气体。