于离子束导引器中使用光电子以包封离子束的方法和系统

摘要

提供一种离子植入系统及其所用之射束包封装置，其中顺着一射束路径提供光电子来源以及光子来源。诸如UV照射灯之光子来源提供光子给予光电放射来源之材质，藉以在离子植入系统中产生光电子而增强射束包封。