一种废气处理系统

摘要

本发明提供一种废气处理系统，包含有一气体燃烧洗涤设备；以及一水气分离装置，与该气体燃烧洗涤设备的排气管路连结。其中经由该气体燃烧洗涤设备处理过之半导体制程废气经由气体燃烧洗涤设备的排气管路排放至该水气分离装置，并于该水气分离装置进行水气分离。该水气分离装置可为一微型化旋风分离器。