发明名称 微光学镜片之制造方法及其结构
摘要 一种微光学镜片之结构,其系为一晶片基板,该晶片基板包含:基底层;一布设上述基底层上之一二氧化矽层;一布设于上述二氧化矽层上之一矽晶层,该矽晶层系包括一座板、一微镜片以及至少一位于该微镜片后端对应该微镜片之定位器,且该座板在与该微镜片以及该定位器之间分别形成有至少一组铰链抓孔;复数光组铰链,系分别布设于上述座板与上述微镜片、上述定位器之间的各铰链抓孔而成;如上述构造,可藉由上述光组铰链的再流动现象将上述微镜片、上述定位器分别举起至一特定角度,恰使该微镜片受该定位器抵顶,而形成自动组装之结构。
申请公布号 TW200514129 申请公布日期 2005.04.16
申请号 TW092127252 申请日期 2003.10.02
申请人 国立成功大学 发明人 赵儒民;谢清霖;黄世民
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 江舟峰
主权项
地址 台南市东区大学路1号