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发明名称 Heater of apparatus for removing fume and apparatus for removing fume using the same
摘要 본 발명은 퓸 제거장치용 히터 및 이를 이용한 퓸 제거장치에 관한 것으로써, 특히, 퓸 제거장치용 히터에 금속편이 설치되어, 히터의 열이 더욱 효과적으로 웨이퍼 및/또는 웨이퍼 주위에 전달될 수 있는 퓸 제거장치용 히터 및 이를 이용한 퓸 제거장치에 관한 것이다.
申请公布号 KR101670381(B1) 申请公布日期 2016.10.28
申请号 KR20150032920 申请日期 2015.03.10
申请人 우범제 发明人 우범제
分类号 H01L21/02;H01L21/324;H01L21/60;H01L21/673 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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