| 主权项 |
1.一种检查装置,系用以检查从配设于吐出头之吐出喷嘴吐出之液滴,其特征为具有:射出检测光之投光部;前述检测光照射之受光部;以及在和前述检测光之光路的交叉方向上移动前述吐出头之移动手段;且,前述移动手段会在前述移动方向上移动该吐出头,前述吐出喷嘴会以特定时间间隔吐出前述液滴,若D:前述检测光之光束直径、d:前述液滴直径、L:前述吐出头之移动方向的吐出喷嘴间之间隔、H:1个吐出喷嘴吐出液滴后至吐出次一液滴为止之前述吐出头及该检查装置的相对移动距离,则以满足D/2+d/2≦L且、H≦D之条件的方式来进行设定。2.如申请专利范围第1项之检查装置,其中前述检测光之光束直径大于前述受光部之检测区域直径时,前述D为前述检测区域之直径。3.如申请专利范围第1项之检查装置,其中具有可重新设定前述D、d、及H当中之至少其中之一之値的控制手段。4.如申请专利范围第1项之检查装置,其中前述吐出喷嘴数可任意设定。5.一种检查方法,系用以检查具有吐出头之液滴吐出装置,前述吐出头具有可吐出液状体之液滴之复数吐出喷嘴,其特征为:对特定受光部照射检测光,前述吐出喷嘴以特定时间间隔吐出前述液滴,利用前述液滴通过前述检测光之光路,检查前述受光部之受光量,在依据检查结果检查前述吐出喷嘴之吐出状况时,以满足D/2+d/2≦L且、H≦D之条件进行设定;但,D:前述检测光之光束直径、d:前述液滴直径、L:前述吐出头之移动方向的吐出喷嘴间之间隔、H:1个吐出喷嘴吐出液滴后至吐出次一液滴为止之前述吐出头的移动距离。6.一种液滴吐出装置,其特征为具有:具有可吐出液状体之液滴且并列于特定方向之复数吐出喷嘴的吐出头;检查前述吐出喷嘴是否吐出前述液滴之检查装置;以及依据前述检查装置之检查结果,对前述吐出头实施特定处理之控制装置;且,前述检查装置具有:射出检测光之投光部、前述投光部之前述检测光照射之受光部、以及在前述检测光之光路的交叉方向上以特定速度移动前述吐出头之移动手段,前述移动手段会在前述移动方向上移动该吐出头,前述吐出喷嘴会以特定时间间隔吐出前述液滴,若D:前述检测光之光束直径、d:前述液滴直径、L:前述吐出头之移动方向的吐出喷嘴间之间隔、H:1个吐出喷嘴吐出液滴后至吐出次一液滴为止之前述吐出头的移动距离时,应以满足D/2+d/2≦L且、H≦D之条件进行设定。7.如申请专利范围第6项之液滴吐出装置,其中前述吐出头数可任意设定。8.一种液滴吐出方法,其特征为具有:从具有可吐出液状体之液滴且并列于特定方向之复数吐出喷嘴之吐出头吐出液滴之步骤;检查前述吐出喷嘴是否吐出前述液滴之检查步骤;以及依据该检查步骤之检查结果,对前述吐出头实施特定处理之处理步骤;且,前述检查步骤系对特定受光部照射检测光,前述吐出喷嘴以特定时间间隔吐出前述液滴,利用前述液滴通过前述检测光之光路,检查前述受光部之受光量,在依据检查结果检查前述吐出喷嘴之吐出状况时,以满足D/2+d/2≦L且、H≦D之条件来进行设定;但,D:前述检测光之光束直径、d:前述液滴直径、L:前述吐出头之移动方向的吐出喷嘴间之间隔、H:1个吐出喷嘴吐出液滴后至吐出次一液滴为止之前述吐出头的移动距离。9.一种光电装置,其特征为:至少一部份系以如申请专利范围第6项之液滴吐出装置所形成。10.一种电子机器,其特征为:至少一部份构成要素系以如申请专利范围第6项之液滴吐出装置所形成。图式简单说明:第1图系具有本发明之检查装置的液滴吐出装置之一实施形态的概略斜视图。第2图系吐出头之图。第3图系吐出头之图。第4图系检查装置之一实施形态的概略斜视图。第5图系吐出头吐出之液滴通过检查装置之检测光之光路上的模式图。第6图系说明从吐出喷嘴吐出液滴至吐出次一液滴为止之吐出头移动距离的模式图。第7图系检测光之光束直径大于受光部之检测区域时之检测动作实例的模式图。第8A图-第8F图系元件之滤色器之制造步骤的实例图。第9图系有机EL装置之侧剖面图。第10图系电浆显示器之分解斜视图。第11图系说明图案之形成方法的流程图。第12A及B图系图案形成方法之实例的模式图。第13A及B图系图案形成方法之实例的模式图。第14A及B图系图案形成方法之实例的模式图。第15A-D图系微透镜之制造方法的步骤说明图。第16A及B图系影像显示装置之电子源基板的模式图。第17A-C图系影像显示装置之制造步骤说明图。第18A-C图系配备元件之电子机器的实例图。 |
