发明名称 具有扣压于基材间之顺应性元件的装置
摘要 一种装置包含一第一基材、一第二基材以及一顺应性元件。该顺应性元件系由一第一顺应性材料介于该第一基材与该第二基材间所组成,该顺应性材料具有一侧表面至少部分涂覆一层第二材料。该顺应性元件具有变形符合已经压合在一起之该第一基材及一第二侧。若干具体例中,该第二材料为导电性,让顺应性元件提供基材间之可靠电连结。其它具体例中,该第二材料可增加顺应性元件之气密性,让顺应性元件提供基材间之较佳气密封。
申请公布号 TW200518241 申请公布日期 2005.06.01
申请号 TW093118535 申请日期 2004.06.25
申请人 安捷伦科技公司 发明人 柏青
分类号 H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 美国
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