具快速时间反应与可调整传导之故障保安气动驱动阀

摘要

本发明揭露用于故障保安性高速气动阀之装置与方法，故障保安相依性藉一弹簧负载通常关闭之气动驱动器被提供，当弹簧负载之气动驱动器被加压时，通常关闭之机构被驱动至阀活动位置，同时地，压力被直接施加以将一膜片或一风箱组合偏移至密封位置，具有标准图顶状膜片之最高纯度实施例被揭露，附加的高传导膜片与风箱实施例被使用于较高之传导阀，创新的流体路径布置图被揭露，阀可应用于快速气体与流体切换且特别适用于高生产力原子覆层沉积(ALD)应用，附加的实施例涵盖改进的膜片与密封可靠度、外部可调整式阀传导、改进的阀安全性与高温阀密封。