| 主权项 |
1.一种处理铁电材料之方法,该方法包含:安置一铁电材料于包括金属蒸气的环境中;及加热该铁电材料至低于该铁电材料的居里温度之温度。2.如申请专利范围第1项之方法,其中该铁电材料包含钽化锂。3.如申请专利范围第1项之方法,其中该金属蒸气包含锌。4.如申请专利范围第1项之方法,其中该温度小于或等于约595℃。5.如申请专利范围第1项之方法,其中又包含:在加热该铁电材料以后,产生一热梯度,俾使该金属蒸气在离开该铁电材料的位置凝结。6.如申请专利范围第1项之方法,其中该铁电材料在一具有该金属蒸气的密封容器内部加热。7.如申请专利范围第6项之方法,其中该密封容器含有一惰性气体。8.如申请专利范围第7项之方法,其中该惰性气体包含氩。9.如申请专利范围第6项之方法,其中该密封容器含有一形成气体。10.如申请专利范围第6项之方法,其中该密封容器在一处理管中加热。11.如申请专利范围第6项之方法,其中又包含:在加热该铁电材料以后,冷却该密封容器,俾使该密封容器的第一端部比该密封容器的第二端部冷,以便利于该第一端部附近的金属蒸气凝结。12.一种用于处理钽化锂材料之系统,该系统包含:一含有一钽化锂材料及一金属的密封容器;及一处理管,其构造系在低于该钽化锂材料之居里温度的温度加热该容器,俾使该金属的蒸气与钽化锂反应。13.如申请专利范围第12项之系统,其中该钽化锂材料系晶圆的形式。14.如申请专利范围第12项之系统,其中该钽化锂材料系在该密封容器内部的晶圆笼中。15.如申请专利范围第12项之系统,其中又包含一围绕该密封容器的外壳。16.如申请专利范围第12项之系统,其中该金属包含锌。17.一种处理钽化锂材料之方法,该方法包含:在低于该钽化锂材料之居里温度的温度及在包括金属蒸气的环境中加热该钽化锂材料。18.如申请专利范围第17项之方法,其中该金属蒸气包含锌。19.如申请专利范围第17项之方法,其中该钽化锂材料在一密封容器内部加热。20.如申请专利范围第17项之方法,其中该环境包括一形成气体。图式简单说明:图1显示依据本发明之一实施例的容器示意图。图2显示依据本发明之一实施例的外壳示意图。图3显示依据本发明之一实施例的用于增加铁电材料之大导电性的系统。图4显示依据本发明之一实施例的用于增加铁电材料之大导电性的方法之流程图。 |
