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发明名称 TUNING PROCESS FOR FREQUENCY OF FILM BULK ACOUSTIC WAVE RESONATOR DEVICE AND MANUFACTURING PROCESS COMPRISING THEREOF
摘要
申请公布号 KR20050055819(A) 申请公布日期 2005.06.14
申请号 KR20030088846 申请日期 2003.12.09
申请人 SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD. 发明人 JANG, JAE WOOK;SUNWOO, KOOK HYUN
分类号 H03H3/02 主分类号 H03H3/02
代理机构 代理人
主权项
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