MECHANISMS FOR WAFER CLEANING

摘要

웨이퍼들을 세정하기 위한 메커니즘들과 관련된 실시예들이 제공된다. 웨이퍼 세정 방법은 습식 벤치 세정 동작에 의해 웨이퍼들을 세정하는 단계를 포함한다. 본 방법은 또한 그 후 단일 웨이퍼 세정 동작에 의해 웨이퍼들 각각을 세정하는 단계를 포함한다. 또한, 상기 방법의 성능을 증대시키기 위한 세정 장치가 또한 제공된다.