发明名称 En fluorometrisk fremgangsmåde til forögelse af skylle- og vandisoleringsprocessers effektivitet i fremstillingen af halvledercips
摘要
申请公布号 DK1016127(T3) 申请公布日期 2005.06.27
申请号 DK19980946942T 申请日期 1998.09.10
申请人 NALCO CHEMICAL COMPANY 发明人 HOOTS, JOHN, E.;JENKINS, BRIAN, V.
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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