发明名称 奈米物件阵列之制造方法
摘要 本揭示系有关一种用于生成奈米物件阵列之系统及方法。可藉由将一波形表面中的槽暴露于奈米物件及将奈米物件沉积于槽内或将奈米物件对正于槽,藉以生成一奈米物件阵列。
申请公布号 TW200522213 申请公布日期 2005.07.01
申请号 TW093119042 申请日期 2004.06.29
申请人 惠普研发公司 发明人 柯尼洛威斯 帕维尔;玛德洛维斯 彼得;史塔席克 詹姆斯
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 美国
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