| 摘要 |
本发明揭示一种自动聚焦一显微镜的方法，该显微镜具有一光源；一物镜或透镜系统；一引导构件，用于引导入射光穿过该物镜或透镜系统而被该物件反射；一孔径，用于限制该入射光的空间范围并用作一照明瞳孔；一引导构件，用于将至少部分该反射光引导至一成像系统；以及一成像系统，用于使如此引导的反射光成像。依据本发明，一光束系从一光源引导至穿过该显微镜系统的一物镜到达其表面可反射光的一物件；反射光系被收集并引导至一成像系统，其中，该入射光束系藉由使一孔径成像而在空间上受到限制，以形成一照明瞳孔，该照明瞳孔的照明中心系与该仪器的入射光学轴对齐，且反射光系投影至该成像系统，该成像系统包括来自一成像瞳孔之离心区段的至少一对影像，该成像瞳孔系在相反方向从该光学轴位移，并且其中可决定因此而产生的该等影像之分离，以指示该物件距离。本发明亦揭示一种实施该方法的聚焦系统及一配备此系统的显微镜。 |
