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发明名称 FABRICATING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE WITH SPIN ON DIELECTRIC LAYER AND ORGANIC SOLVENT
摘要
申请公布号 KR20050067458(A) 申请公布日期 2005.07.04
申请号 KR20030098442 申请日期 2003.12.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SONG, SEOK PYO;SHEEN, DONG SUN;AHN, SANG TAE
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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