发明名称 METHOD FOR FABRICATING CONTACT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050074081(A) 申请公布日期 2005.07.18
申请号 KR20040002305 申请日期 2004.01.13
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 HWANG, CHANG YOUN;CHOI, BONG HO;KIM, JUNG GEUN
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/44;H01L21/4763;H01L21/60;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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