| 摘要 |
提供具有隐藏铰链之微镜阵列的制造，举例而言，隐藏铰链之微镜阵列可用于反射式空间光调变器。在一实施例中，从基底制造微镜阵列，基底系单晶材料之第一基底。在第一基底的第一侧中形成穴。分别地，电极及寻址和控制电路会制于第二基底的第一侧上。第一基底的第一侧接合至第二基底的第一侧。这些侧会相对齐以致于第二基底上的电极会与将形成于第一基底上且电极将控制之镜板具有适当的关系。第一基底会被薄化至预定的所需厚度、蚀刻铰链、沈积牺牲层、平坦化第一基底的上表面、沈积反射表面以遮盖铰链、藉由蚀刻以释放镜以及移除围绕铰链之牺牲层以释放铰链以致于铰链可以围绕与铰链一致之轴旋转。 |
