制造平板显示器之装置

摘要

本发明揭示一种平板显示器(FPD)制造装置，其不仅包括一负载锁室、一馈入室，及一处理室，其至少一者具有一垂直堆叠室结构以增强基板处理效率，亦包括一暂时基板储存空间，用以在该馈入室中暂时储存数个基板，以减少馈入基板所需时间。本发明揭示另一FPD制造装置，其包括：一负载锁室；一馈入室，其接到该负载锁室；一暂时基板储存空间，其设置在该馈入室之预设部分；及至少一处理室，其接到该馈入室。