具有薄膜与开度阵列光分离器以及非可适性与可适性反射表面的反射与反射折射影像系统

摘要

一个干涉测量系统包括：一个干涉仪，它引导目标点的测量光产生一个返回测量光，聚焦返回测量光到像平面的像点，并把测量光和参考光混合在像点以形成一个混合光。位于像平面的光束混合层对结合光是响应的，而且在那里产生一个光束，结合层包含一个那里被形成的传输孔阵列的薄膜，更进一步地包含一个与孔阵列的每个孔相关联的萤光材料。探测器对来自光束混合层的光束是响应的，而且成像系统引导来自光束混合层的光束到探测器上。