低同调光栅回馈式干涉系统与方法

摘要

一种光学系统包括一微影系统、一低同调干涉仪及一侦测器。微影系统经设计利用一光线图案对于一物件之一部分进行照射，微影系统包括一参考表面。低同调干涉仪具有一参考光程与一量测光程，沿着参考光程所移动之光线是经由参考表面而至少反射一次，沿着量测光程所移动之光线是经由物件而至少反射一次。侦测器是设计用以侦测一低同调干涉信号，低同调干涉信号包括了已经过参考光程之光线、已经过量测光程之光线，低同调干涉信号是用以指示出参考表面、物件之间的一空间关系。