蚀刻系统及其纯水添加装置

摘要

本发明涉及一蚀刻系统，其包括一反应腔、一承装箱及一纯水添加装置，该反应腔与该承装箱相连，该纯水添加装置包括：一洁净乾气体输入管道及一纯水输入管道，两者均与反应腔相连；该洁净乾气体输入管道及一纯水输入管道之开合分别由位于其上之计时控制器控制；其中，该纯水输入管道一部分经过一加热器加热。