发明名称 一种位置动态编码方法
摘要 本发明系提供一种位置动态编码方法,该位置动态编码方法系适用于晶粒拾取放置过程,其步骤包含拾取任一晶粒,测试该晶粒,并依据该晶粒测试结果定义该晶粒等级,再将该晶粒放入一容器,同时定义该容器为放置该晶粒等级之专属容器,之后持续拾取晶粒直到将所有晶粒放入其专属容器;利用本发明技术提供之位置动态编码方法,不预先设定专属容器,仅针对实际晶粒分布等级定义专属容器可以快速完成晶粒拾取放置过程,避免拾取装置运送距离过大或有死角产生,达到有效进行晶粒拾取放置过程。
申请公布号 TWI239587 申请公布日期 2005.09.11
申请号 TW092126415 申请日期 2003.09.24
申请人 敏盛科技股份有限公司 发明人 蔡东宏;王祥麟;黄再志;林显清;洪学毓
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 蔡秀玫 台北县土城市立云街5巷3号12楼
主权项 1.一种位置动态编码方法,用于晶粒拾取放置过程,包含步骤:拾取一第一晶粒;测试该第一晶粒为一第一等级;指定该第一等级对应一第一专属容器;取放该第一晶粒至该第一专属容器;拾取一第二晶粒;测试该第二晶粒为一第二等级;指定该第二等级对应一第二专属容器;以及取放该第二晶粒至该第二专属容器。2.如申请专利范围第1项所述之位置动态编码方法,其中该第二等级系相同于该第一等级。3.如申请专利范围第2项所述之位置动态编码方法,其中该第二专属容器系相同于该第一专属容器。4.如申请专利范围第1项所述之位置动态编码方法,其中该拾取及取放动作系为一第一机器手臂及一第二机器手臂所为。5.如申请专利范围第1项所述之位置动态编码方法,其中该测试动作系为一良率测试。6.如申请专利范围第5项所述之位置动态编码方法,其中该良率测试系得到一晶粒缺陷程度,依该缺陷程度将晶粒分成复数个等级该等级包含该第一等级及该第二等级。7.如申请专利范围第6项所述之位置动态编码方法,其中该等级可为一自然数。图式简单说明:第一图:系为习知技术之晶粒取放示意图;第二图:系为习知技术之拾取放置晶粒流程图;以及第三图:本发明技术之晶粒分类位置动态编码方法之流程图。
地址 新竹县新竹科学工业园区工业东九路12号1楼