绝缘体上矽元件之电子式熔线

摘要

一种提供电子式熔线的方法及装置，电子式熔线系图案化于绝缘体上矽晶圆之一活性层。电子式熔线形状之一，系透过第三部分电性连接于第一及第二部分。而第三部份典型的较第一部份及第二部份为细。再藉由离子植入使得电子式熔线完全空乏，并进行金属矽化制程。然后，再使用标准制程步骤以形成介层窗及其他积体电路结构。