基板处理装置、基板处理方法及记录媒体

摘要

基板处理装置1系具备：藉由处理液来处理基板之处理槽3、及被配置于处理槽3之上方之乾燥处理部6、及使基板W于处理槽3和乾燥处理部6之间移动之移动机构8。于乾燥处理部6连接有：供给处理气体之处理气体供给管线21、及对乾燥处理部6供给惰性气体之惰性气体供给管线24、25。另外，于乾燥处理部6连接有：将由乾燥处理部6所排出之空气予以排气之第1排气管线26、及强制性地将前述乾燥处理部6加以排气之第2排气管线27。