发明名称 Automatic Processing system of toxic gas
摘要 본 고안의 일 실시예에 따른 유해가스 자동 처리 시스템은 유해물질이 혼합된 유해가스를 이용한 공정에서 발생되는 유해가스 또는 상기 공정에 사용되기 위해 저장되는 유해물질이 혼합된 유해가스가 순환되어 흡착되도록 마련되는 흡착부; 상기 유해가스로부터 상기 유해물질이 제거된 가스가 외부로 배출되도록 마련되는 배출부; 상기 유해가스가 상기 흡착부로 유입되는 제1 상태 및 상기 흡착부로부터 상기 유해물질이 제거된 가스가 유출되는 제2 상태에 따라 각각 다른 경로를 통해 이송되도록 마련되는 이송부; 및 상기 제1 상태 및 상기 제2 상태에 따라 상기 경로가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 밸브부;를 포함한다. 이에 의해, 복수의 경로 중 일부 경로를 통해 유해가스가 유입되되, 흡착된 유해가스를 배출됨으로써, 적은 수의 경로를 통해 유해물질이 제거된 유해가스가 외부로 배출될 수 있다. 그리고 유해가스의 종류를 판단하여 흡착제의 종류를 변경함으로써, 유해가스에 혼합된 유해물질의 제거효율이 향상될 수 있다. 또한, 흡착제를 통해 흡착된 유해가스의 농도를 기반으로 흡착제의 교체 시기를 판단함으로써, 유해가스에 혼합된 유해물질의 제거효율이 향상될 수 있다.
申请公布号 KR200481934(Y1) 申请公布日期 2016.11.29
申请号 KR20160004085U 申请日期 2016.07.15
申请人 (주)에프테크 发明人 송운호;박성근;송승진;이춘성;이헌석
分类号 H01L21/02;B01D53/04;B01D53/30;F16K31/00;H01L21/67 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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