具导电基板之氮化镓系发光二极体的形成方法

摘要

一种具导电基板之氮化镓系发光二极体的形成方法，系为先在蓝宝石基板上形成复数个氮化镓系发光元件，而于各氮化镓系发光元件之间的沟渠，暴露出蓝宝石基板。接着，接合一导电基材于氮化镓系发光元件之上，然后，利用一雷射光束，由基板背面，依序对准各氮化镓系发光元件，进行照射，以完整剥离蓝宝石基板。其中，雷射光束范围系控制为只足以完整照射到单一之氮化镓系发光元件。