电浆处理装置及其设计方法

摘要

本文揭示一种电浆处理装置，具有一电浆生成部，以及一多孔质板，设置在该电浆生成部与一欲处理物体之间，其中该多孔质板具有多个孔洞，其等就形状、尺寸及分布等因素中之至少一者而言，系制做成不均匀的。更详细地说，该等孔洞的形状、大小及分布等系基于该电浆生成部上之活性物种的分布情形及扩散之计算结果而决定的，因此在欲处理物体旁边的电浆活性物种会具有所需的浓度及分布情形。这可确保于电浆生成部旁边会具有均匀的电浆分布，而同时可以防止电浆浓度的降低。