| 摘要 |
本发明之目的系提供一种构造较简单且可抑制随着基板的热处理而产生的生成气体被冷却后产生所谓的昇华物之热处理装置。该热处理装置1中之基板处理部5具备有：空气调整部11，系具有用以供给热风的热风供给机构14者；及热处理室12，系用以热处理基板者。热处理装置1配置有担载有触媒的触媒壁40，该触媒系用以促进于热处理室12的最下游侧处理基板时所产生的生成气体之氧化分解。因此，热处理装置1其因生成气体的冷却而产生所谓的昇华物之产生量极少。又，热处理装置1由于于生成气体的氧化分解时会产生反应热，故仅需要用以于热处理时加热混合气体的消耗电力即可。 |
