用于制造半导体积体电路装置的系统、及用于制造半导体积体电路装置中自动氮气迫除程序的方法

摘要

一种用于制造半导体积体电路装置的系统，其包括操作控制系统及程序中介站。上述程序中介站系与该操作控制系统连结，该程序中介站包含气体迫除装置。