含矽负型光阻组成物

摘要

本发明系有关于一种含矽负型光阻组成物，包括一占组合物重量百分比1％～80％之高分子共聚物；一占组合物重量百分比之5％～70％之反应性稀释剂；以及一占组合物重量百分比之0.1％～40％之光起始剂；其中，高分子共聚物系由如式(I)之含矽基团化合物聚合或共聚而成；R1为C1～C8之烷基或环烷基；且R2为丙烯醯(甲基)丙酯，乙烯基苯基，乙烯基，(甲基)丙烯醯，烯丙基，甲基二融环乙烯基或甲基二融环乙烯基二甲基硅烷基。093124987-p01.bmp